Get Adobe Flash player

Filmy promocyjne

 

Jesteś tutaj

Strona główna

Projekt jest realizowany w ramach Programu Operacyjnego Infrastruktura i Środowisko, oś priorytetowa XIII "Infrastruktura Szkolnictwa Wyższego"

Projekt  „Kompleks Naukowo - Dydaktyczny Centrum Mikroelektroniki i Nanotechnologii Uniwersytet Rzeszowski” tworzy nową infrastrukturę Uniwersytetu Rzeszowskiego, dotyczącą najnowszych technologii i metod badań.

Zgodnie z projektem realizowane są między innymi „pokoje czyste” o łącznej powierzchni 200m2 różnych klas czystości, głównie klasy C (10000) oraz klasy A (100). Zachowanie parametrów wysokiej czystości, stabilnej temperatury i ciśnienia w pokojach czystych związane jest z niezwykle skomplikowaną, precyzyjną instalacją klimatyzacyjno-wentylacyjną. Zabudowa pomieszczeń czystych wykonana będzie w wysokiej klasy systemach niepylących. Dostęp do pokoi czystych odbywać się będzie poprzez system śluz. W pomieszczeniach tych będzie można przebywać jedynie stosując wyłącznie odzież ochronną.

W pokojach czystych zostały rozmieszczone instalacje do hodowania warstw epitaksjalnych MBEpodstawowa technologia wytwarzania nanostruktur, skaningowy mikroskop elektronowy o wysokiej klasie dla kontroli topologii wytwarzanych nanostruktur oraz dla elektronowej litografii, instalacja SIMS dla kontroli profilu składu struktur, technologia fotolitorafii i litografii elektronowej. Wszystkie te technologie będą służyć do wytwarzania układów scalonych i elementów obwodów kwantowych. Dodatkowo zainstalowana zostanie także współczesna aparatura badawcza dla kontroli magneto-transportu przy niskich temperaturach w wytwarzanych elementach obwodów kwantowych i pomiaru na tych nanostrukturach własności optycznych. Jest to obecnie niezbędne dla wykonania prac magisterskich i doktorskich na odpowiednim poziomie.

W Centrum Mikroelektroniki i Nanotechnologii  tworzone są także stanowiska w pracowniach studenckich, gdzie studenci będą przygotowywani do prowadzenia pomiarów nanostruktur
w temperaturach 4K (-2690C) i niższych. W tym celu tworzy się odpowiednią infrastrukturę niskich temperatur specjalnie zaprojektowaną z tzw. odzyskiem helu gazowego