Get Adobe Flash player

Filmy promocyjne

 

Jesteś tutaj

Strona główna

 

Projekt kluczowy: Kompleks Naukowo-Dydaktyczny

Centrum Mikroelektroniki i Nanotechnologii 

Uniwersytet Rzeszowski.

Program Operacyjny Infrastruktura i Środowisko 2007-2013

oś priorytetowa XIII, działanie 13.1 Infrastruktura Szkolnictwa Wyższego.

Umowa o dofinansowanie nr UDA-POIS.1301-018/08-00

zawarta w Warszawie 17 lipca 2009

Wartość projektu: 56 828 526,37 PLN

Kwota wydatków kwalifikowanych: 56 170 752,51

Wartość dofinansowania z Unii Europejskiej: 47 745 139,49 PLN

Koordynator merytoryczny Projektu Prof. dr hab. Eugeniusz Szeregij

 

            Celem Projektu jest stworzenie nowej infrastruktury uzupełniającą lukę infrastrukturalną Regionu Podkarpackiego, dotyczącą najnowszych technologii i metod badań, a mianowicie: brak w instytucjach akademickich Regionu technologii MBE – najważniejszej technologii wytwarzania półprzewodnikowych nanostruktur oraz tzw. czystych pokoi dla fotolitografii i litografii elektronowej, bez których niema mowy o wykonaniu mikroprocesorów i tym bardziej przyszłych nano-procesorów. Nowostworzona infrastruktura posłużyłaby jako baza naukowo-dydaktyczna dla nowych specjalności „Nanoelektronika” kierunku studiów Fizyka techniczna I-go i II-go stopnia,  „Nanotechnologie i nowe materiały dla lotnictwa”   makro-kierunku „Mechatronika i Nanotechnologie”, planowanego do uruchomienia w roku akademickim 2009/2010 na Wydziale Matematyczno-Przyrodniczym Uniwersytetu Rzeszowskiego pod auspicjami „WSK Rzeszów” jak również specjalności „Inżynieria biomedyczna” makrokierunku „Biotechnologia”.

            Absolwenci z wyżej wymienionych kierunków i specjalności będą niewątpliwie wyjątkowo pożądanymi specjalistami tak dla przedsiębiorstw  już istniejących w „Dolinie Lotniczej” jak i tych, które zamierzają rozpocząć działalność w Regionie. Planowana oferta edukacyjna z pewnością będzie atrakcyjną dla absolwentów szkół średnich, spowoduje przypływ utalentowanej młodzieży do nauk ścisłych i pozwoli na stworzenia warunków sprzyjających inwestycjom w przemysł „high-tech” w Południowo-Wschodniej Polsce.

            Autorzy Projektu w celu wspólnej eksploatacji przyszłego „Centrum Mikroelektroniki i Nanotechnologii” stworzyli Konsorcjum czterech Instytucji – dwóch najważniejszych Uczelni Podkarpacia (Uniwersytet Rzeszowski i Politechnika Rzeszowska im. I. Lukasiewicza) oraz dwóch Instytutów PAN w Krakowie (Instytut Fizyki Jądrowej im. H. Niewodniczańskiego PAN oraz Instytut Fizyko-Chemii Powierzchni i Katalizy PAN). Niedawno przystąpiła do konsorcjum Politechniką Rzeszowską. Potwierdza to odpowiedzialne podejście autorów Projektu do postawionych zadań, pozwoli bowiem zabezpieczyć kadrowo działalność ww. Centrum (zaangażowanych zostanie około 30 samodzielnych pracowników naukowo-dydaktycznych) jak również sprawi, że nowostworzona infrastruktura będzie intensywnie wykorzystywana. Podpisane zostało Porozumienie bilateralne z o prowadzenie wspólnego kierunku studiów „Mechatronika i Nanotechnologie” oraz o wspólnych studiach doktoranckich z specjalności naukowych „elektronika półprzewodnikowa”, fizyka ciała stałego” i „inżynieria materiałowa”.

Nowostworzona infrastruktura będzie zawierała budynek o łącznej powierzchni 2600 m. kw., w kt5órym zostaną rozmieszczone szereg nowych Laboratoriów technologicznych i badawczych. Utworzenie kompleksu kriogenicznego ma na celu zapewnienie niskich temperatur dla pomiarów charakterystyk materiałów i nano-struktur. Zakres temperatur zaczyna się od 300 mK, stąd niezbędnym jest zapewnienie dostawy ciekłego helu oraz azotu dla aparatury naukowej, zlokalizowanej w Centrum Mikroelektroniki i Nanotechnologii. Zapewnienie tych skroplonych gazów (ciekłego azotu) jest niezbędne do wytwarzania struktur niskowymiarowych w technologii MBE.

            Czyste pokoje (clean room o powierzchni 100 m. kw.) z odpowiednią klimatyzacją mają zapewnić prawidłowy proces technologiczny wytwarzania warstw półprzewodnikowych metodą MBE - pomieszczenie I oraz pomieszczenie II, które zapewni uzyskanie wysokich standardów czystości dla wykonywania układów scalonych metodą fotolitografii i litografii elektronowej.

Kompleks technologiczny jest najważniejszą częścią nowej infrastruktury stworzonej w wyniku realizacji projektu, bowiem ma zapewnić wyhodowanie nanostruktur i kontrolę ich jakości. Kompleks zawiera: MBE - zakupiona aparatura będzie służyć wytwarzaniu struktur o obniżonej wymiarowości. Zwykle jest to kilka warstw mono-atomowych (rzędu 5-10 nm) przemiennie z innym półprzewodnikami. W efekcie otrzymana zostaje struktura z jedną lub kilkoma studniami kwantowymi; TOF – SIMS - Spektroskopia masowa jonów wtórnych (SIMS – Second Ion Mass Spectroscopy) - aparatura ma służyć badaniu wyhodowanych warstw, określenie ich okresowości, rozmiaru, jednorodności składu itp. Metoda pozwoli również określić precyzyjnie skład chemiczny; SEM - Skaningowa mikroskopia elektronowa) - aparatura posłuży do badania warstw wyhodowanych w technologii MBE i będzie uzupełniać pomiary o informacje na temat jakości powierzchni i warstw wierzchnich bez naruszenia materiału

            Laboratorium fotolitografii i litografii elektronowej będzie wykorzystywane do wykonywania układów scalonych na bazie nanostruktur (warstw wyhodowanych metodą MBE) oraz elementów obwodów kwantowych – kropek kwantowych i drutów kwantowych). Laboratorium zostanie wyposażone w następującą aparaturę: instalacje dla fotolitografii, instalacja dla litografii elektronowej, zmienna apertura soczewki z możliwością jednoczesnego montażu kilku przystawek niezbędnych do wykonania elektrono-litografii.

 

            Projekt jest niezwykłe ważny strategicznie o wymiarze nad regionalnym i spełnia cele stawiane w dokumentach Unii Europejskiej: Deklaracja Lizbońska, Proces Boloński; odpowiada celom Strategii Rozwoju Polski na lata 2007-2013 oraz celom Osi Priorytetowej XII Infrastruktura Szkolnictwa Wyższego, w której nacisk położono na rozwój nowych technologii oraz na studia w zakresie nauk ścisłych.

Uniwersytet kończy realizację Projektu:

- jest gotowy budynek;

- jest przygotowana dokumentacja dla odbioru budynku;

- zostały podpisane Umowy na dostarczenie głównej aparatury technologicznej i badawczej

- są ogłoszone przetargi na część aparatury pomiarowej.

Realizacja Projektu zgodnie z harmonogramem powinna być zakończona w grudniu 2012.