Get Adobe Flash player

Filmy promocyjne

 

Jesteś tutaj

Strona główna » Infrastruktura

 

Zadania

Czyste pokoje (clean room) z odpowiednią klimatyzacją mają zapewnić prawidłowy  proces technologiczny wytwarzania warstw półprzewodnikowych metodą MBE - pomieszczenie I  oraz pomieszczenie II  które zapewni uzyskanie wysokich standardów czystości  dla wykonywania układów scalonych metoda fotolitografii i litografii elektronowej.

 

 


Aparatura

 

Lp

Opis

Cena w zł

1

Systemy klimatyzacyjne z filtrami czyszczącymi

1 700  000

2

Wykonanie  szczelnego pomieszczenia 60m2   sterylnego o klasie czystości D (100000) ze śluzą  (pomieszczenie I)

   170 000

3

Wykonanie sterylnego pomieszczenia 110m2  dzielonego na dwie części po 55m2o klasach czystości  C (10000)  i A (100)   z śluzą

 

    267 000

 

 

Razem

   2 137 000

 


Opis

W pomieszczeniu I chcąc zapewnić klasą czystości D 100000, należy wykonać system zamkniętego obiegu powietrza z zastosowaniem filtrów czyszczących. Pomieszczenie które przewidziano posiada w projekcie wykonawczym budynku oznaczenie 0/B3/U005 61,15m2/. Zadbać o wyjątkową szczelność pomieszczenia, oraz zabezpieczyć ściany, sufit i podłogę niepylącym materiałem. W celu niedopuszczenia powietrza z zewnątrz do pomieszczenia należy zastosować pompy w celu tłoczenia czystego powietrza  np. przez kanały w suficie i odbierać kanałami powietrznymi w ścianach bocznych tuż przy podłodze, dalej przepuszczając przez filtry proces powtarzać w  cyklu zamkniętym. W pomieszczeniu powinno wystąpić niewielkie nadciśnienie. Wymiennik powietrza dostosować tak aby pomieszczenie  o powierzchni około 60m2 i kubaturze 560 m3 w którym dodatkowo przebywa 4 osoby mogło zachować klasę czystość D (100000). Do pomieszczenia powinno prowadzić specjalne wejście ,  które wykonane z podwójnych drzwi z zabezpieczeniem przed możliwością jednoczesnego otwarcia obydwu, oraz odpowiednimi nawiewem pozwala dokonać pełnego zabezpieczenia sterylności przy wchodzeniu.

 

Pomieszczenie II w którym będzie wykonywany proces fotolitografii i litografii elektronowej jako miejsce gdzie czystość  ma bardzo duży wpływ na technologię powinno zachować klasę czystości C 10000 zaś bezpośrednio w miejscu gdzie będzie wykonywany proces technologiczny litografii elektronowej ( obszar około 10 m2) czystość powinna zachować klasę A 100. Pomieszczenie to które stanowi jedno całość w projekcie wykonawczym budynku ( B3/U006 173m2)  powinno zostać podzielone na trzy mniejsze pomieszczenia za pomocą wbudowanych ścian sufitu i podłogi zabezpieczonych niepalącym pokryciem do których dostęp będzie przez jedną wspólną śluzę około 4m2. Jedno małe pomieszczenie – P1 o około 12m2 będzie pomieszczeniem, gdzie umieszczone urządzenia do celów technologicznych np. instalacja do dejonizacji wody. Pozostała część powinna zostać podzielona na  dwie równe części o powierzchniach nie mniejszych niż około 55 m2 w których zostaną zainstalowane:

pomieszczenie P2- o  klasie czystości C 10000 przyrządy do osadzania np. napylarki, piece itp.

pomieszczenie P3- o klasie czystości  C 10000 do fotoliografi oraz z wydzielonym małym obszarem 100 przyrządy do fotoliografi i litografi elektronowej.

Przy dostosowaniu wymienników  powietrza w celu uzyskania żądanych klas czystości założyć że w pomieszczeniu A i B jednocześnie przebywa maksymalnie 4 osoby w każdym z nich.

Dodatkowo w obydwu pomieszczeniach powinny zostać zainstalowane dygestoria dla odczynników chemicznych.

Sposób wykonania pomieszczenia podobny jak dla pierwszego jednak z uwzględnieniem zachowania wyższych klas czystości, a co za tym idzie zastosowania bardziej wydajnych wymienników powietrza tak aby przy kubaturze około 330m3 i przebywających tam maksymalnie 4 osobach utrzymać żądane klasy czystości.    

W pomieszczeniach tych musi zostać zainstalowany system klimatyczny utrzymujący stałą zadaną temperaturę i wilgotność w pomieszczeniu. W pomieszczenie I wahnięcia temperatury nie powinny przekraczać 20C zaś w pomieszczeniu II nie powinna przekraczać 10C. W pomieszczeniu II powinien znajdować się przyrząd do bieżącego monitoringu czystości pomieszczenia. Pomieszczenia te powinny być wykonane tak aby spełniały wymogi  BHP dotyczące ewakuacji w razie pożaru, oraz miały możliwość uzyskania certyfikacji.

W obydwu pomieszczeniach powinny znaleźć się media jak zaplanowano w projekcie.

Układ klimatyzacyjny wymaga dodatkowego pomieszczenia na ustawienia systemów klimatyzacyjnych w pobliżu klimatyzowanych pomieszczeń w ty celu w zależności od oferty do tego celu może być wykorzystana piwnica (SWP2) lub pomieszczenie obok 0/B3/U004.